Lam Research Corp
LRCXLam Research Corporationは、集積回路の製造に使用される半導体加工装置を設計、製造、販売、リフレッシュ、およびサービスを行っています。同社は、ALTUSシステムを提供しており、これはタングステンメタライゼーションアプリケーション用の一貫性あるフィルムを堆積するために使用されます。また、銅インターコネクト移行用のSABRE電気化学堆積製品、銅ダマスキン製造を提供するものです。また、映画処理用のSOLA紫外線熱処理製品、およびVECTORプラズマ増強CVD ALD製品も提供しています。また、高密度プラズマ化学気相堆積製品であるSPEED gapfillを提供し、誘電体フィルムソリューションのためのStrikerシングルウエハー原子層堆積製品を提供しています。さらに、誘電体エッチングアプリケーション向けのFlex、導体エッチングアプリケーション向けのKiyo、シリコンスルーバイアエッチングアプリケーション向けのSyndion、金属エッチプロセス向けのVersysメタル製品を提供しています。また、ダイエルド向上のためのCoronusベベルクリーン製品を提供し、様々なウエハクリーニングアプリケーションに対応するためのDa Vinci、DV-Prime、EOS、およびSPシリーズ製品を提供しています。また、半導体ウエハ製造における高精度インライン質量測定のためのMetryxマスメトロロジーシステムも提供しています。同社は、これらの製品とサービスを米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、および国際市場に販売しています。同社は1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。住所:アメリカ合衆国、カリフォルニア州フリーモント、カッシング・パークウェイ4650番地